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真空等離子清洗機該如何選型?

真空等離子清洗機選型指南

真空等離子清洗機該如何選型,我們主要從以下幾個方面來考慮。

首先我們我們從腔體大小來確定等離子清洗機的型號,腔體大小主要從以下兩個方面予以考慮。

一、工件的大小

一般來說真空等離子清洗機的分類的話主要是按照腔體尺寸和腔體材質來分的,選擇腔體尺寸時第一個要考慮的就是工件大小,也就是我們至少要能把工件放下去,如果工件連放都放不下去,再考慮其他因素也沒有多大的意義。

二、產能

任何產品如果有產能要求的話,肯定是需要根據產能來選腔體大小,腔體越大也就意味著一次能處理的產品也就更多,如果對產能沒有太多要求的話,優先考慮工件大小。在工件能夠放下的前提下,我們在根據產能計算得出合適的腔體尺寸。

第二個我們要考慮的問題,就是選擇哪種頻率的等離子清洗機

頻率的選擇

目前常見的頻率有40KHz和13.56MHz,20Mhz。40kHz的自偏壓為1000V左右,13.56MHz自偏壓為250V左右,20MHz的自偏壓則更低,這三種激發頻率的機制不同,40kHz發生的反應為物理反應,13.56MHz發生的反應既有物理反應又有化學反應,20MHz有物理反應但更主要的反應為化學反應,需要對材料進行活化、改性的要用13.56MHz或者20MHz的等離子體清洗40kHz的自偏壓為1000V左右,13.56MHz自偏壓為250V左右,20MHz的自偏壓則更低,這三種激發頻率的機制不同,40kHz發生的反應為物理反應,13.56MHz發生的反應既有物理反應又有化學反應,20MHz有物理反應但更主要的反應為化學反應,需要對材料進行活化、改性的要用13.56MHz或者20MHz的等離子體清洗。

腔體材質的選擇

目前常見的腔體材質有以下幾種,石英腔體,不銹鋼腔體,鋁合金腔體,三種腔體各有各的優勢,石英腔體溫度低,且不易發生反應。鋁合金腔體的優勢:1、 鋁合金密度低,強度高,超過優質鋼,機械加工性能比較好。 2、 鋁具有優良的導電性、導熱性和抗蝕性。 3、材料對化學反應的兼容性比較好,不易產生金屬污染、particle等。

真空泵的選擇

是選擇國產的泵,還是進口的,是干泵還是油泵,是單級泵,還是雙極泵,每一種真空泵的選擇都可以根據客戶的實際需要來選取,這里就不做過多的贅述。

氣路的選擇

常見的真空等離子清洗機都是兩路氣體通道,但是這并不能滿足所有的處理需求,如果需要更多的反應氣體,那么氣體通道就要適當增加,這個也是根據客戶的實際需求來選擇幾路氣體通道。

真空等離子清洗機選型指南

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