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等離子清洗機
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首頁 產品中心 真空等離子清洗機 中大型工業用等離子清洗機 標準150L射頻真空清洗機

標準150L射頻真空清洗機

產品型號:TS-PL150MA

產品簡介: 標準離線式真空等離子清洗機,功能包括表面活化改性等等,增加粘接性,提升附著力,處理各種電子材料,包括塑料、金屬或者玻璃等,應用于各行各業

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基本參數


電源頻率 40KHz/13.56MHz
容量 150L
功率 0-1000W(可調)
腔體尺寸 (長寬高mm)500*500*600
處理層數 17層
外形尺寸 (長寬高mm)1200*1100*1730
真空泵 油泵/干泵+羅茨組合
真空度 5-100pa(可調)
腔體材質 316不銹鋼/進口鋁合金(選配)
氣體流量控制 0-500SCCM(MFC±2%)
氣體通道 兩路(可增加):Ar/N2/H2/CF4/02
等離子體發生器 40KHz/13.56MHz
腔體溫度 <30℃
控制方式 PLC+觸摸屏
系統控制軟件 自主研發V2.0
電極陶瓷 進口高頻陶瓷
設備簡介


真空等離子清洗機是一個具有多用途的機械系統,廣泛應用于活化,退鍍,改性,蝕刻,提升附著力和清洗等等功能。該設備具有環保無污染,節能省成本,清洗效果好等特點

行業應用



設備功能

蝕刻:對于光致抗蝕劑聚酰亞胺的殘留和以硅化物為基本成分的涂層等材料的清除很有用

粘附提升:往基質上添加活化能力強的化學基團以提高其粘合劑的黏著度。
清洗:清除材料上的光學物質的污染以及清除有機物殘留,氧化和金屬鹽等對材料的污染。
活化:能使處理基材表面生成所需化學極鍵;
退鍍:使被處理基材除去金屬等材料,制作各種產品。



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